日立掃描電鏡_SU3800/SU3900落地式掃描電子顯微鏡特點：
①SU3900標配多功能大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察
■樣品臺可搭載大/重樣品
通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動的性
■支持全視野移動。SEM MAP支持大樣品的全視野觀察
與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導航相機
覆蓋整個可觀察區(qū)域
支持360度旋轉(zhuǎn)
②隨著各種自動化功能的強化，操作性能得到了進一步優(yōu)化。
■一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI
■各種自動化功能
自動調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
提高了自動聚焦精度
搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
■Multi Zigzag，可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
■Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告
③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案
■可滿足多種觀察需求的探測器
搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
高靈敏度半導體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像
■配備了多功能大樣品倉，可以搭載多種配件
■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測量軟件Image pro
*選配件
日立掃描電鏡_SU3800/SU3900落地式掃描電子顯微鏡規(guī)格：
|
ITEM |
SU3800 |
SU3900 |
|
|
二級電子分解能 |
3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） |
||
|
15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） |
|||
|
背散射電子分解能 |
4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） |
||
|
倍率 |
×5～×300,000（照片倍率*1） |
||
|
×7～×800,000（實際顯示倍率*2） |
|||
|
加速電壓 |
0.3kV～30kV |
||
|
低真空度設(shè)定 |
6～650 Pa |
||
|
圖像位移 |
±50μm（WD＝10mm） |
||
|
大樣品尺寸 |
200mm直徑 |
300mm直徑 |
|
|
樣品臺 |
X |
0～100mm |
0～150mm |
|
Y |
0～50mm |
0～150mm |
|
|
Z |
5～65mm |
5～85mm |
|
|
R |
360°連續(xù) |
||
|
T |
－20°～+90° |
||
|
大可觀察范圍 |
130mm直徑（R并用） |
200mm直徑（R并用） |
|
|
大可觀察高度 |
80mm（WD=10mm） |
130mm（WD=10mm） |
|
|
電機驅(qū)動 |
5軸電機驅(qū)動 |
||
|
電子光學系統(tǒng) |
電子槍 |
預(yù)對中鎢燈絲電子槍 |
|
|
物像鏡頭光圈 |
4孔可動光圈 |
||
|
檢測系統(tǒng) |
二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器 |
||
|
EDX分析WD |
WD＝10mm（T.O.A＝35°） |
||
|
圖像顯示 |
自動光軸調(diào)整功能 |
自動光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC） |
|
|
自動光軸調(diào)整（實時級別對齊） |
|||
|
自動調(diào)整光束亮度 |
|||
|
自動圖像調(diào)整功能 |
自動亮度和對比度控制（ABCC） |
||
|
自動對焦控制（AFC） |
|||
|
自動標記和焦點功能（ASF） |
|||
|
自動燈絲飽和度調(diào)整（AFS） |
|||
|
自動光束對準（ABA） |
|||
|
自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC） |
|||
|
操作輔助功能 |
電子束旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點對點測量、角度測量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺位置導航功能（SEM MAP）、光束標記功能 |
||
|
配件 |
■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機導航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成 |
||
|
配件（外部裝置） |
能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、 |
||
*1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。
*2.指定放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸。
